文章详情
为什么在蚀刻过程中涡轮分子泵内部会发生沉积？
日期：2026-09-09 23:20
浏览次数：82
摘要：当可冷凝副产物（如氯化铝化合物）冷却并粘附在泵内部表面时，尤其是在 Holweck 级中，会发生沉积。
当可冷凝副产物（如氯化铝化合物）冷却并粘附在泵内部表面时，尤其是在 Holweck 级中，会发生沉积。
