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提高泵温度如何减少沉积?
日期:2026-09-09 23:51
浏览次数:70
摘要:更高的内部温度可减少副产物的冷凝,从而限制颗粒在涡轮分子泵内的粘附和堆积。
更高的内部温度可减少副产物的冷凝,从而限制颗粒在涡轮分子泵内的粘附和堆积。
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结果:泵使用寿命延长 1.5×
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为什么在蚀刻过程中涡轮分子泵内部会发生沉积?
沪公网安备 31011702004252号